高精度晶圆级环氧贴片机
AP0300WE
产品特点：
1、高速高精度双驱双反馈龙门系统
2、高精度晶圆级键合系统
3、高低倍双视野视觉系统
4、高速高精度在线水平旋转自动换头，吸嘴数量多达12个
5、高精度力控，精度达±1g
6、一体式在线接触式测高，支持点胶针头测高
7、高精度预图案及自定义高柔性点胶，支持点胶图案叠加
8、支持柔性多基准贴片
9、3D堆叠功能，高达5mm
10、上下视觉高精度定位功能
11、视觉中心实时校正
12、中转台辅助高精度定位功能
13、Wafer Mapping功能
14、可拓展非晶圆贴装、摆料等功能
15、百级无尘（可选）
技术参数
| 力控精度 | ±1g |
|---|---|
| 位置精度 | ±3μm@3sigma |
| 角度精度 | ±0.15° |
| 测高精度 | ±1μm |
| 运动行程 | X=360mm，Y=657mm，Z=30mm |
| 晶圆尺寸 | 8英寸，兼容4英寸及6英寸 |
| 芯片尺寸 | 最小0.38mm x 0.38mm，最大7mm x 7mm |
| 华夫盒/凝胶盒尺寸 | 2英寸 |
| 华夫盒/凝胶盒数量 | 20个，可拓展至30个 |
| 吸嘴数量 | 12（含测高） |
|---|---|
| 测高方式 | 接触式 |
| 胶水类型 | 环氧 |
| 胶管尺寸 | 3cc、5cc、10cc |
| 最小胶斑直径 | ∅0.3mm |
| 键合力 | 10~200g |
| 操作系统 | Windows |
| 设备净重 | 1.6T |
产品特性
| 输入电压 | 220V±10%@50/60Hz |
|---|---|
| 额定功率 | 2KW |
| 占地面积 | 1300mm x 1570mm x 1900mm(宽*深*高） |
| 压缩空气要求 | 0.4 ~ 0.6MPa |
|---|---|
| 真空管道压力 | ≤ -85kPa |